前言:

x射线光电子能谱分析(X ray photoelectron spectroscopy, XPS) 是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发辐射出来。

XPS可以用于元素的定性,定量分析，固体表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。

在无机非金属领域，XPS最 常见的用途是价态研究。根据原子周围的化学环境差异，光电子峰位置在单质和不同化合物中会不-样，相互之间的能量差可以为零点几到

十几电子伏特，这正是光电子能谱用于研究原子价态的依据。

可是我们经常测试完之后，得到的都是exce1数据，至多再给我们一个不能编辑的结合能谱。

全谱一般不用拟合 ,直接拿原始数据在origin中绘图即可;但单元素的特征能谱直接绘制图谱就有点粗糙,必须进行拟合才能用于PPT和发文章。也就需要我们对原始的exce1数据进行拟合,再和拟合之后的数据一起绘 制需要的图谱。很多刚接触xPS的同学都不会S峰形拟合,今天就教大家拟合的基本流程和具体操作。

一、必备软件: XPSPEAK41

二、准备数据: .xls或者. txt或. dat格式的IPS数据

三、拟合开始:

1.将需要绘图的两列数据复制出来，保存为. dat格式的数据。

2.打开xPSPEAK41软件,左击“Data”→“Import (ASII)”→选择改好格式的. dat数据，打开,出现图谱。

3.点击“Back ground” ，弹出背景选择对话框，根据元素结合能的峰位置,选择“High BE”“Low BE”的数值,点击“Accept”。可以对高底“B”进行微调，至背底处于合适的位置。

4.点击“Add Peak""，出现一个峰位。

5.通过手动调节峰位”Position”、半峰宽FWHm"、" 峰面积”Area'，每个个后面都有”Fix”可根据需要选中固定，先点击后面对应的"optimise”进行拟合，再点击"optimise Peak”进行拟合。

6.如果一个峰拟合的差不多 了，但还有部分也可能有峰需要拟合，再点击“Add Peak"，增加一个峰，此时“XPS Peak Processing”面板会出现两个峰。

7.如果拟合过程中多加了一个峰，在“XPS Peak Processing”面板选中多加峰“Delete”即可。

8.拟合哪个峰就点击那个,重复步骤5、6进行拟合。达到自己的预期峰形之后，点击“optimise A11”，几个峰-起拟合， 至X 2减小不变。拟合完毕(拟合完毕之后，记下拟合的峰位置,便于在0rigin中绘图时标注)。

9.为了方便后面直接修改拟合的图谱，可以在XPS Peak Processing” 面板中“Save XPS" ,进行保存，后面需要修改可直接打开。

四、数据导出及绘图:

拟合完毕后，回到“Region""面板，点击“Data”→“Export Spectrum” →保存. dat数据文件。

打开输出的. dat数据,按需要选择需要的列数，复制后在0rigin中绘图，标注特征峰对应的结合能。

拟合到此就大功告成啦!孰能生巧，快快跟着教程连起来吧!